来源:广东国评 发布时间: 2020-07-17
2020年7月17日,根据评价委托方 提供的评价申请材料,广东国评科技成果评价有限公司组织专家对成果【 高性能氧化锌透明电极制备关键技术及LED芯片应用 】进行了线上评价,会议过程中专家审阅了委托方提供的评价材料,听取了成果完成单位的报告并进行了质询,形成评价结论如下:
1.技术水平评价:
1)【创新性】该科技成果 提出了一种用于氮化镓蓝光LED的n+-InGaN隧穿层和三叠层结构的ZnO透明电极及其外延生长晶化技术;发明了ZnO透明电极原位粗化芯片技术和热稳定氧化物反射层的倒装LED 芯片技术,以及氧化锌透明电极蚀刻液和精细蚀刻工艺;率先研制了氧化锌量产型MOCVD装备;建立了ZnO透明电极蓝光LED芯片生产线和红光LED芯片中试生产线,推出了商用化的氧化锌LED 芯片。项目获得PCT专利2件,获授权中国发明专利62件,出版外文论著1部,发表SCI收录外文期刊论文54篇,参与制修订地方标准5项、团体标准5项。评价为 填补了国内空白,实现了突破性创新 。
2)【关键度】该科技成果于 半导体照明器件制造 行业技术关键度评价为 核心技术 。
3)【先进性】该科技成果 所研究出的ZnO透明电极生产工艺及其制造装备等,实现了高性能ZnO透明电极产业化,在生产效率、良率、产品一致性等方面表现突出;所开发的ZnO基透明电极GaN蓝光LED芯片、AlInGaP红光LED芯片、LED白光光源模组等产品,在其电学、光学及稳定性等性能上表现优异。评价为 主要技术指标领先行业水平 。
4)【成熟度】根据研究与应用证明材料,该成果技术成熟度评价为 达到应用推广阶段 。
综上,该科技成果综合技术水平评价为 达到国际先进技术水平 ,其中在ZnO透明电极制备及MOCVD装备关键技术方面 居国际领先地位 。
2.应用效益评价:
1)【应用效果】该科技成果 通过第三方检测,并在项目参与单位及多家单位完成应用验证与产业化生产销售,据反馈达到预期效果。评价为 应用效果显著 。
2)【应用潜力】该科技成果 面向LED半导体照明、新型显示、可见光通讯、新能源、新光源及节能等技术应用领域,具有广阔的市场前景。评价为 应用潜力巨大 。
3)【经济效益】该科技成果 孵化及扶持企业6家(包括培育上市企业1家),在项目参与单位产业化新增产值销售额10.8亿元。评价为 经济效益显著 。
4)【社会效益】该科技成果 在提升科技竞争力、促进科技发展、节能环保、带动产业经济发展、促进人才培养等方面体现出社会效益。评价为 社会效益显著 。
现将该科技成果评价结果进行公示。
公示时间:3天
公示期限:2020年7月17日至2020年7月19日
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111